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股票代码:002819

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SZ002819

400-650-5566
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SENTECH SE401 在线式激光椭偏仪
产品名称:
在线式激光椭偏仪
产品型号:
SE401
厂商名称:
SENTECH
商品描述:
在线式激光椭偏仪,可以在线测量薄膜厚度。

  SE 401是出色的单波长椭偏仪, 使用旋转分析器,对测量椭偏角度有高重复性和长期稳定性,快速测量数据,基于windows操作系统的软件使测量精确、快速、简单。SE 401过程控制椭偏仪适用于监控动态过程,如不同环境下单层膜的生长或蚀刻过程。

规格
  ·激光波长 632.8 nm
  ·测量时间最小80 ms(测量Ψ,Δ数据)。
  ·接口配置,用于将椭偏仪安装在反应腔上。
  ·激光聚焦高度调节
  ·应力释放窗口
  ·基于windows系统的操作分析软件,在线监控椭偏测量并计算单层膜的膜厚、折射率。

选项
  ·高真空应力释放窗口
  ·使椭偏仪正面向上的附加置换单元
  ·双波长激光 (可选405 nm或1550 nm)
  ·角度计可调节入射角,步进值5度。载物台直径150mm
  ·TIMECALC 软件,动态椭偏测量模拟和分析软件。
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